系統(tǒng)的真空度有關(guān)。真空度越高，這種方法的靈敏度除了與所用的示漏物質(zhì)有關(guān)外。超聲波檢漏儀靈敏度也越高。這種方法是利用系統(tǒng)上現(xiàn)有的真空規(guī)來進(jìn)行檢漏的非常方便，目前真空系統(tǒng)在調(diào)試、運(yùn)行過程中廣泛采用的一種檢漏方法。
打開相應(yīng)的真空計(jì)進(jìn)行真空丈量。當(dāng)用示漏物質(zhì)噴射或涂覆于容器外壁可疑漏氣部位時(shí)，超聲波檢漏儀當(dāng)真空系統(tǒng)抽到一定的真空度后。示漏物質(zhì)就會(huì)通過漏孔進(jìn)入真空系統(tǒng)中。由于規(guī)管對(duì)各種氣體的靈敏度不一樣，超聲波檢漏儀而所選的示漏物質(zhì)與系統(tǒng)中剩余氣體/空氣相比，其靈敏度相差很大，所以真空計(jì)的指示就會(huì)發(fā)生明顯的變化，因而就指示了漏孔的尋在和漏孔的位置。一般說來，噴吹示漏物質(zhì)比涂覆方法好，以免器壁外表面的污染物堵塞漏孔。此外氣體示漏物質(zhì)比液體示漏物質(zhì)好，因?yàn)橐后w不只可能被吸附在漏孔內(nèi)堵塞漏孔，而且還會(huì)對(duì)漏孔內(nèi)部造成污染。 常用的示漏物質(zhì)有：氫、二氧化碳、丁烷、丙酮、酒精等。
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